薄层电阻测量技术基本信息 中文名称薄层电阻测量技术方法Rymaszewski 法仪器四探针测试仪作用为提高晶锭的质量提供了重要参考薄层电阻测量技术结构模型正方形范德堡测试结构中(图4)，正中是需要测量的正方形薄层。测
薄层电阻测量技术基本信息 中文名称 薄层电阻测量技术 方法 Rymaszewski 法 仪器 四探针测试仪 作用 为提高晶锭的质量提供了重要参考 薄层电阻测量技术结构模型正方形范德堡测试结构中(图4)，正中是需要测量的正方形薄层。测量时，从任一边的两个欧姆接触点通入电流I,从对边的两个欧姆接触点测量电压U。由于图形的高度对称,若在此局部范围内薄层电阻的平面分布均匀，则薄层电阻值Rs为 通过对换电压和电流测试点，并用测得的数据求出平均值就能消除因图形不对称所引起的误差。
薄层电阻测量技术造价信息市场价信息价询价 薄层电阻测量技术原理简介薄层电阻是指一块正方形薄层沿其对边平面方向的电阻,单位为Ω/□(图1)。若正方形薄层的边长为l，厚度为xj，截面积为A,平均电阻率为，薄层电阻Rs为由上式可知，薄层电阻只与薄层材料的平均电阻率及其厚度有关，与方块的边长无关。 经常通过外延生长、杂质扩散工艺或离子注入掺杂工艺在单晶衬底上形成一层异型薄层(如在N型衬底上形成P型层或在P型衬底上形成N型层)，或通过真空蒸发工艺、溅射工艺在绝缘材料上覆盖一层金属薄膜。这些结构的薄层电阻值在半导体器件和集成电路生产中都是需要受到精确控制的重要工艺参数。半导体薄层电阻的大小取决于薄层中掺入杂质的情况。当杂质分布形式确定后，通过测量薄层电阻就能推算出表面杂质浓度。 在半导体工艺中，广泛使用四探针法测量薄层电阻(图2)。四个针尖排在一直线上，测量时电流由外侧两根探针流经薄层(因薄层与衬底的掺杂型号相异，电流基本上不通过衬底)，并用两根内侧探针测量电压。探针的间距相等,均为s。当薄层厚度xjs时，可算出式中U为电压值(伏);I为电流值(安;)C为修正系数，当样品的尺寸远大于s时，C=4.532。
在硅平面工艺中，往往通过一些专门设计的测试图形来检测薄层电阻。这些图形形成在芯片边缘，或者专门的测试片上(与其他参数的测试图形一起)，它们和集成电路芯片同时经历各项工艺步骤。通过这样一些测试图形测得的薄层电阻，更加准确地反映器件和电路中的实际情况。若在大圆硅片上作成布满测试图形的阵列，还可得到整个圆片上薄层电阻值分布的均匀性。 图3为矩形条的薄层电阻测试图形。有阴影线的方块处为金属化的欧姆接触。电流I由外侧的两处接触通过条状薄层,中间的两处接触用于测量电压U。矩形条的宽度W以及产生电压降U的一段长度L均可测量。根据薄层电阻的定义，可得条状测试结构与单块集成电路中的电阻器的情况相似。
薄层电阻测量技术常见问题电缆绝缘电阻测量是多少？
电力电缆测量绝缘电阻值规定：电力电缆投入运行前应测量绝缘电阻: 1KV 以下的使用1KV 摇表:其值不应小于10MΩ ，1KV 以上使用2.5KV 摇表: 3KV 及以下的电缆绝缘电阻值不小于200M...
控制柜绝缘电阻测量标准
绝缘电阻的正确测量方法 现代生活日新月异,人们一刻也离不开电。在用电过程中就存在着用电安全问题,在电器设备中,例如电机、电缆、家用电器等。它们的正常运行之一就是其绝缘材料的绝缘程度即绝缘电阻的数值。当...
母排绝缘电阻测量
与母线连接的二次回路中可能接有电压表、指示灯等元件，母线相间（或对地）会通过这些元件形成回路，根本无法测绝缘。
控制柜绝缘电阻测量标准
正确测量方法 现代生活日新月异,人们一刻也离不开电。在用电过程中就存在着用电安全问题,在电器设备中,例如电机、电缆、家用电器等。它们的正常运行之一就是其绝缘材料的绝缘程度即绝缘电阻的数值。当受热和受潮...
rtk 测量技术原理
RTK（Real Time Kinematic）实时动态测量技术，是以载波相位观测为根据的实时差分GPS（RTDGPS）技术，它是测量技术发展里程中的一个突破，它由基准站接收机、数据链、 流动站接收机...
电阻测量简介直流情况下，电阻R按伏安特性定义,即R=U/I，其中U 为电阻两端的电压,I 为流过电阻的电流。交流情况下,电阻R按功率P来定义,即R=P/I。按所用测量仪表，电阻测量可分为伏安表法、三表法、欧姆表法和电桥法。
电阻测量伏安表法用于测量直流电阻。图中分别给出了测量高值电阻(兆欧以上)、低值电阻(10欧以下)、中值电阻(10欧~兆欧)的原理接线。图中E 为直流电源，A、μA分别为电流表、微安表，V、mV分别为电压表、毫伏表,R为被测电阻。测量高阻时，为了消除结构绝缘材料的漏电阻对测量结果的影响，需装设屏敝，以此来割断电阻两端漏电阻(R21，R22)的通路。这样，电阻增加了一个屏蔽接线端，故称为三端电阻。测量低值电阻时，为了排除接线电阻和接触电阻的影响，电阻还具有电流端和电压端，故称为四端电阻。 电阻测量
排电阻测量方法测量排电阻的方法比较简单。对已知引脚排列顺序的排电阻，可将一支表笔接公共引脚，用另一支表笔依次对每个电阻进行测量，其阻值应符合标称值。
对于不知引脚排列顺序的排电阻，可先将红表笔任接被测量电阻的一个引脚，然后用黑表笔去测试其他引脚，若所得值相同，则说明红表笔所接的是被测量排电阻的公共脚。
